Ngày Giáp Tý (19) tháng 8 năm Nhâm Tuất (tức ngày 10 tháng 9 năm 602), Độc Cô hoàng hậu qua đời ở cung Vĩnh An, thọ 59 tuổi, được an táng ở Thái lăng vào ngày 28 tháng 10 cùng năm (tức ngày 17 tháng 12 năm ấy). Sau cái chết của bà, Tùy Văn Đế Dương Kiên rất đau buồn, nhưng không lâu sau lại sủng hạnh hai phu nhân Trần Tuyên Hoa và Thái Dung Hoa.

Niên hiệu Đại Nghiệp thứ 2 (605), Tùy Dạng Đế Dương Quảng truy tôn thụy hiệu cho mẹ mình làm Văn Hiến hoàng hậu (文獻皇后).